產品中心
PRODUCT CENTER
用于掃描電子顯微鏡（SEM）和聚焦離子束/掃描電子顯微鏡（FIB/SEM）中電學特性分析的最佳定量電學系統及軟件。
一、設備亮點
SEM系統的EA（電學分析）用于各類新型設備的研發，包括大面積太陽能電池、光伏、光電子、高功率晶體管以及納米點、納米線以及納米柱。
該系統是一個完整的解決方案，兼容大多數SEM和FIB-SEM，配備了專有硬件和軟件，包括專用樣品臺、放大器、電壓偏置和同步成像，確保以最快速度和最低噪聲記錄電學活動。
系統設計用于定量測量，因此電子組件經過工廠校準，軟件則設計用于自動化元數據管理和測量。
該系統由硬件、軟件和可選功能組成。
內部電場
? 結點和接觸點的活性區域分布
? 驗證摻雜分布與設計或模型的符合度
? 在電壓偏置下查看電學行為
? 導出數據以量化擴散長度
缺陷部位的電學活動分析
? 定位具有增加復合電學活性的位點
? 配合高分辨率顯微技術
? 導出數據以量化復合強度
技術范圍
? 電子束誘導電流（EBIC）
? 電子束吸收電流（EBAC）
? 電阻對比成像（EBAC/RCI）
? 電子束誘導電阻變化（EBIRCh）
電阻分布
? 電阻的空間分布
? 識別設備中的短路和開路
? 定位弱點和泄漏路徑
TEM樣品篩選
? 利用SEM的寬視場選擇目標
? 在FIB/SEM中使用電學分析（EA）防止制備損傷
? 在轉移到TEM之前，先在SEM中篩選薄片樣品
二、設備硬件
電學分析（EA）放大器
? 校準的高速電子設備，配備原位和外部前置放大器
? 用于成像的復雜多級放大，帶自動低通濾波器
? 集成皮安表用于束流電流測量
? 集成電壓源用于電學偏壓
? 集成電流源用于補償
EFA 控制器
? 用于成像的高速多級放大，帶自動低通濾波器
? 自動信號切換板用于信號路由
? 自動皮安表用于束流電流測量
? 集成電壓和電流源用于偏置和補償
? 可選低功率和高功率電源單元（PSU）用于探針清潔
? 可選原位前置放大器用于低阻抗故障情況
? 可選電流-電壓（IV）掃描
DISS6 SEM掃描控制器
? 最新一代電子設備用于圖像掃描
? 校準的16位信號數字化
? 標準4個同步SEM信號輸入
? 新增8個同步輸入用于原位前置放大器
? 每個信號獨立的亮度和對比度控制
電學分析（EA）/電學放大（EFA）參考樣品
? 二極管和電阻器用于參考和培訓
? 表面安裝在陶瓷板上，便于操作
? 集成法拉第杯用于束流電流測量
三、設備軟件
DISS6 圖像采集
? 集成軟件用于圖像采集和放大器控制
? 高級工具用于色彩混合、電流-電壓（IV）掃描和線掃描
? 已校準圖像數據的檢查和導出功能
DIPS6 圖像處理
? 專用軟件用于圖像數據的顯示
? 檢查元數據中的采集設置
? 提取定量像素值
四、選配項目
電學分析（EA）樣品臺
? 2個探針用于外部前置放大器
? 橫截面和平面樣品樣品臺
? 集成法拉第杯
高級電學分析（EA）樣品臺
? 2個探針用于外部前置放大器
? 2個探針用于外部前置放大器
? 橫截面和平面樣品樣品臺
? 集成法拉第杯
定制樣品臺
? 根據需求提供用于各種應用的樣品臺
400-606-8199
滬公網安備 31011702008509號
