產品中心
PRODUCT CENTER
地形分析——為您的掃描電子顯微鏡增添第三維度。
一、設備亮點
PE的BSE地形系統是唯一能提供實時定量校準表面高度測量，并在掃描電子顯微鏡下實現實時3D可視化的解決方案。
該技術有助于研究人員區分高度和形態差異，在掃描電子顯微鏡（SEM）和聚焦離子束掃描電子顯微鏡（FIB-SEM）環境中表征樣品表面時具有不可估量的價值。
該系統專為多廠商環境設計，可與標準地形軟件無縫對接，支持離線分析及3D打印文件格式。
作為完整的探測器與掃描控制器系統，BSE地形解決方案可改裝至任何配備適配BSE端口的顯微鏡。
該系統由硬件與軟件組成。
三維動力學
記錄、測量與動態演示表面形態變化——現已涵蓋高溫原位實驗場景。
三維測量
測量高度差、輪廓及其他幾何特征，或通過集成3D校準進行驗證。
三維導航
實時探索表面地形，通過動態3D視圖更深入地了解樣本——在移動樣本或調整放大倍率時，畫面實時更新。
關聯性三維顯微技術
獲取并可視化任何掃描電子顯微鏡（SEM）模擬與數字信號，將其作為紋理呈現在樣品高度圖上——現已支持EBIC（電子束誘導共振）技術，實現關聯性電學分析。
標準三維分析
實時探索表面地形，通過動態3D視圖更深入地了解樣本——在移動樣本或調整放大倍率時，畫面實時更新。
自動化3D工作流程
遠程采集樣品表面地形數據及多通道掃描電子顯微鏡信號，實現實時分析與反饋，例如基于人工智能的斷裂分析。
實時校準高度測量
BSE地形控制軟件包含基于BSE信號的實時表面高度重建功能、內置3D表面可視化工具，以及可配置的工作流程（集成SE和BSE掃描配置文件）。
? 可定制工作流程：完全可配置的掃描配置文件，支持實時掃描或高分辨率采集；
? 項目設置：保存與自動保存的項目參數、常規工作流程及遠程控制功能；
? 探測器控制：亮度與對比度調節，含自動信號校準、探測器伸縮控制；
? 自動校準：通過3D校準樣品自動確定并修正橫向與高度標尺；
? 自動3D時間序列：自動采集3D原位顯微鏡時間序列數據，含實時高度測量；
? 實時2D高度視圖：通過探測器四象限同步采集的背散射電子信號，實時測定樣品任意點高度；
? 帶紋理的實時3D視圖：采用高度編碼色彩或原始SEM信號作為紋理，實現測量地形的三維可視化。
適用于任何掃描電子顯微鏡或聚焦離子束掃描電子顯微鏡的交鑰匙定量BSE解決方案
作為一套完整的探測器與掃描控制器系統，點電子背散射（BSE）地形解決方案可改裝至任何配備適配BSE端口的顯微鏡上。
3D校準標準
帶參考標記的空間校準樣本，用于自動幾何校準，確保高度標尺準確無誤。
BSE探頭
四象限分段式生物電刺激檢測器，配備校準放大器，含自動信號調節功能及插入/收回機構。
DISS6 掃描控制器
用于同時采集背散射電子信號與掃描電子顯微鏡信號的校準多通道成像系統。
DISS6 APP（含地形插件）與microShape應用程序
定量表面圖與掃描電子顯微鏡信號的重建與實時可視化，集成三維校準功能。
二、設備硬件
3D校準標準
? 用于X、Y、Z軸校準的標記基準三維結構
? 可追溯至德國聯邦物理技術研究院（PTB）的參考信息
? 配備自動化校準用基準標記
高端背散射電子探測器
? 四象限硅傳感器，適用于高級背散射電子分析
? 原位前置放大，實現最佳效率與速度
? 低壓傳感器
DISS6 SEM掃描控制器
? 高性能校準電子設備，用于圖像采集
? 集成式自動背散射信號放大
? 實現所有背散射信號的真正同步采集
三、設備軟件
DISS6 采集系統搭配地形插件
? 實時BSE地形重建與可視化軟件
? 定量圖像采集與探測器控制
? 高度與紋理數據保存至標準文件格式
microShape
? BSE地形數據離線3D查看器
? 3D環境下測量線輪廓、高度、距離及角度
? 3D數據處理（含數據校正與疊加）
microCal
? 離線3D校準與報告生成軟件
? 自動計算所有坐標軸間的比例系數與剪切系數
? 分析非線性掃描偏差
microDIP圖像處理
? 定量圖像數據顯示軟件
? 元數據中采集參數的檢測
? 定量像素值的提取
400-606-8199
滬公網安備 31011702008509號
